Progetto
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Progetto trifluoruro di azoto 1000 t/anno (purezza gas speciale 99,996%)
年产1000吨三氟化氮项⽬（特⽓⾏业纯度99.996%) 三氟化氮（Azoto Trifluoruro）,化学式NF3,是⼀种强氧化剂。作为⼀种重要的⼯业特种⽓体,具有⼴泛的应⽤领域。在微电⼦⼯业中, 三氟化氮是⼀种优良的等离⼦蚀刻⽓体, 在半导体芯⽚、平板三氟化氮主要⽤作等离⼦蚀刻⽓体...